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蒸汽發生器 蒸汽消融用通過精密計量泵精準控制進液量，通過精密相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進行換熱轉化成水蒸氣，水蒸氣通過高溫耐腐蝕預熱器將水蒸氣的溫度升至100℃-800℃，可以穩定地將一路液體蒸發。

超薄型水蒸氣發生器整機厚度僅25cm，在保持大流量輸出的同時，實現優異的集成適配性與散熱表現，為科研實驗、精密制造、新材料研發等領域提供更緊湊、穩定、高效的蒸汽方案。

蒸汽發生器精密電子制造用分為小試裝置和大中試裝置。小試裝置主要作為實驗室設備使用，其液體水流量達10-80g/min。大中試裝置流量大，主要應用于量產，其液體水流量達12-48kg/h。

小型水蒸汽發生器采用一體壓鑄微通道汽化器，微通道結構換熱效果更快,能快速補充相變所需熱量，液體進入通道能快速形成納米液膜氣化波動小。

小型蒸汽發生器 材料改性用采用特殊算法，精確控制汽化進口的水流量和汽化過程中功率、液位、壓力、溫度等 最終達到對出口蒸汽的調節。精密控制精度，蒸發量大范圍精準可調。

水蒸氣發生器金屬氧化處理用出口溫度可調節范圍廣，100~1000℃，蒸氣流量精度高，可達±1%，蒸氣氣態流量可從1mL/min~1000L/min可選，液態水蒸發量可從0.5uL/min~1000mL/min可選。