半導體測試專用濕度發(fā)生器

半導體測試專用濕度發(fā)生器利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過控制液態(tài)水相變，氣態(tài)水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣，再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。通過精密恒流泵加入精密蒸發(fā)器中，去離子水的流量連續(xù)可調，精密蒸發(fā)器將液態(tài)水100%蒸發(fā)，并且保證蒸汽流量波動小于2%。

技術優(yōu)勢：

自主研發(fā)的可蒸發(fā)相變技術

此技術提供成分濃度穩(wěn)定（波動小于±1%）且可連續(xù)調控的所需氣體。特殊氣化結構，大幅抑制汽化不均勻而導致的脈動。

自主研發(fā)氣化模塊

此模塊小巧，避免了傳統(tǒng)加熱爐汽化電轉化效率低、不穩(wěn)定汽化等問題。

自主研發(fā)無死體積進樣技術

由于系統(tǒng)中傳輸通道的存在，現(xiàn)有測試中均存在“死體積"現(xiàn)象，有一部分殘留在傳輸通道中，導致發(fā)生總量出現(xiàn)偏差。

“死體積"是目前測試行業(yè)中未得到很好解決的一個難題。本公司自研無死體積進樣技術，在不影響傳輸通道設計的前提下，通過輔助進樣實現(xiàn)全部流體進樣無殘留。

產品特點：

快速響應，操作簡單

微通道液膜結構

濕度平穩(wěn)連續(xù)，波動小且精確度高

溫濕度傳感器，可選配國產和進口

內部器件材質SUS304/316L，耐高溫耐腐蝕

進樣濕，無殘留

濕氣出口采用加熱保溫裝置，不冷凝，出氣穩(wěn)定

PID智能控溫，運行狀態(tài)直觀顯示

進液流量、溫度等參數(shù)可設置，流量/溫度精確可控

可支持實時在線數(shù)據的讀取與保存

可集聯(lián)與遠程

壽命長，正常使用5年以上，過程中無任何易損耗材需更換

可按需求定制